探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于重大、高速器件的细密电气丈量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的本钱。探针台在操作上分为:手动,半自动,全自动,从功效上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台。
一样平常常用的探针台是直流探针台和射频探针台用于光电行业,芯片测试,随着科技的一直前进接纳高精度探针台的客户越来越多。
高精度探针台的特征1:OTS-最近的位置对正系统(光学目的瞄准) OTS通过比照相机相对位置的丈量来包管其绝对位置的精度。这是很是引人注目的手艺,泉源于东京细密的怀抱手艺。OTS实现了以自己为参照的光学瞄准系统。特征2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统) 为了有用的抵达接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是很是主要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),抵达高刚性,高稳固度的接触。特征3:装载部件令客户知足的测试情形,可以提供以前部最先的通常的8“,12”及基本检查单位。也为自动物料运送系统应用做好了准备。特征4:TTG(一点即到)越发利便的操作,UF3000接纳在显示屏上点一下,相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分利便。屏幕的显示模式也可以由客户自行界说。
探针台手艺指标,1. 结构紧凑,功效适用,2.价钱实惠最大可用于12寸以内样品测试3.兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降4.泄电流精度:10pA/100fa(屏障箱内)5.细密丝杠/燕尾传动结构,6.线性移动,6.无回程差设计7.应用于高等院校/研究所/公司实验室使用8.1微米以上电极/PAD使用9.?榛杓,可以凭证应用增添和去除响应?。